服务热线: 4000-222-035    市场专线: 18913500435
 

 
产品中心 Products
 联系我们 
  • 市场专线:18913500435
  • 客服热线:4000-222-035
  • 邮箱:info@novtec.com.cn
  •  
  •  
  •  
型号:
时间: 2018 - 12 - 16
离子束刻蚀是利用离子束直接轰击工件,将工件上的材料溅射出来,实现材料去除的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程,在各种常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点。应用于在基板表面抛光或材料的去除,尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀,如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、niCr等。▉旋转式离子束刻蚀机▼设备特点l 水平刻蚀方式,基片污染小,离子源故障少l 稳定可靠的大束流离子源,刻蚀速率快l 稳定的刻蚀速率可速带来稳定的均匀度l 独特的基片低温控制技术,确保基片低温刻蚀 ▼技术指标批产能:18片/批(2”)或6片/批(3”)刻蚀均匀性:片内5%,片间3%
型号:
时间: 2018 - 12 - 16
离子束刻蚀是利用离子束直接轰击工件,将工件上的材料溅射出来,实现材料去除的目的。离子束刻蚀是纯物理刻蚀过程,在各种常规刻蚀方法中具有分辨率最高、陡直性最好的特点。应用于在基板表面抛光或材料的去除,尤其适用于金属材料薄膜的刻蚀,如Cu、Au、Pt、Ti、Ni、niCr等。▉扫描式离子束刻蚀机▼设备特点l “In-line”连续工作l 刻蚀速率稳定、均匀性、重复性好l 离子源灯丝法兰可拆卸,维护效率高l 扫描式小车可为客户提供多种刻蚀角度(00~300) ▼技术指标适用晶片尺寸:4”~8”,兼容不规则方片刻蚀均匀性:片内5%,片间3%
Copyright ©2005 - 2020 苏州诺威特测控科技有限公司
犀牛云提供云计算服务
地址:中国江苏省苏州市吴中区吴中大道2588号第一工园 C21 栋
客服热线:4000-222-035
市场专线:18913500435
邮编:330520
5
电话
  • 18913500435
6
二维码
回到顶部